产品介绍

残余气体分析仪（RGA）包括两个系列：PRA和WRA，在带来高性能和高效率的同时，更加简单易用。

PRA系列各方面性能比较均衡且具有出色的性价比。其有4个型号可供选择，用户可以选择基本型，或者可以选配电子倍增管用于提高灵敏度和测量范围。因此 PRA是入门型的最佳选择。

WRA系列是一款进阶型号，其具有市场领先的性能表现。其有两个型号可供选择，根据测量原子量的范围，可用于更大范围的气体及过程检测。它们也提升了灵敏度，可在测量过程中提供更好的精度。

所有的RGA都配备了易于操作的专用软件，它允许用户从自己的电脑上连接多达 16 台设备实时监控工艺流程以及数据分析。对于一些仅需要看一眼特定数据的用户来说，RGA配备特有的显示面板，可用于集中主要气体的分压或含量显示，无需连接电脑

产品特点

全压测量 能够结合分压得到系统的全压或直接通过内置离子规得到压力值 。

在线显示 能够实时读取特定气体分压值、含量等信息。

可维护 可使用标准工具以方便维修零部件。

自保护 在错误使用时能启动自保护功能。

免费软件 标准软件，无需额外的成本。

高灵敏度 带电子倍增管，灵敏度可高达 400 A/mbar。

可测分压低 WRA系列可测分压低至 1×10-15 mbar 。