产品特点

HOLWECK 螺旋牵引级和再生级 针对各种性能，具有低发热、低振动特点。

额外的螺旋牵引级(仅限 EPX500) 抽速提高至500 m3h-1，极限真空提高至 1 x 10-6 mbar。

紧凑的设计 EPX 比同类涡轮分子泵和前级泵组合更小巧。

超清洁机构 EPX 泵在真空条件下不含油或油脂，并且不存在任何其他潜在污染源。

水冷 对安装环境的热负荷冲击小。

带氮气吹扫设备 使该泵适用于抽取蒸气以及低腐蚀性蒸气和微粒。

EPX系列采用的独特单轴再生级和Holweck®螺旋牵引级的多级结构，可以根据不同型号从大气压抽取到 <1 x 10-4mbar或<1 x 10-6 mbar的极限真空。

当单台泵所提供的真空无法满足某些应用的要求时，或者需要涡轮分子泵和前级泵时，EPX泵是理想的选择。它们还适用于频繁地在大气压和高真空之间循环的应用，因为它们能够在所有入口压力条件下连续工作。