产品特点

温控风扇 可以在低负载条件下降低风扇转速，从而使最小噪声降至仅52 dB(A)。

轴承罩 可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命。

变频器驱动 全球范围内泵性能完全相同、易于控制、功耗降低和自动电压调整特性，从而有助于打造优秀用户体验。

优化涡盘设计 转速提高，极限真空比初代提高一个数量级，较低极限压力仅为7 x 10-3mbar。

优化端面密封技术 使用寿命发生显著变化，就大多数应用而言，典型的端面密封条使用寿命达到2年以上。

高流量气镇特性 可以最高220 gh-1 的速度抽取蒸气(包括水蒸气)。

nXDS干式涡旋泵具备出色的抽气能力、极限真空性能和先进的设计特性，性能居同类产品之首。nXDS泵在其他涡旋泵的基础上进行优化，提高了抽速，获得了更高极限真空、更低功耗和噪声。借助气镇功能可以对可冷凝蒸气(包括水、溶剂、稀酸和碱)进行抽真空。nXDS泵还采用了优化的端面密封技术，显著延长了端面密封条更换的时间间隔。

nXDS-C是改进型，更适用于水蒸气以及某些具有腐蚀性物质的应用。这个耐化学腐蚀的版本是基于Chemraz®内阀以及不锈钢材料。nXDS-R型不带气镇，因此它不能被突然打开。它可应用于稀有气体的再循环或者气体回收。