产品特点

TSP灯丝支架 灯丝支架安装在2-3/4英寸CFF (DN40)上。真空电极支持三个钛钼灯丝，以及一条用于接地隔离的回路。每个灯丝均包含1.5克的可用钛，平均工作时间为20小时。

液氮低温护罩 液体低温屏蔽罩包含一个双层304L型不锈钢夹 套，该夹套带有两个直径为0.375英寸的液氮穿 通件(配备外凸式液氮接口)。它可提供1578 cm2 (245 平方英寸)的液氮冷却表面积，氢气抽度高达12,000 ls-1 (见表格)。该护套安装在一个8 英寸的 CFF (DN160) 上。

常温溅射护罩 当冷却不切实际或不可行时，常温溅射护罩能够以经济的方式将表面积最大化。它可提供827 cm2 (128平方英寸) 的常温表面积，氢气抽取速度高达2200 ls-1 (见表格)。该护罩安装在一个 8 英寸的 CFF (DN160) 或 6 英寸的 CFF (DN100)上。

产品介绍

钛升华泵 (TSP) 通常与离子泵组合使用或单独使用，可去除真空环境中的反应气体。与离子泵组合后，TSP 可在更短的时间内达到高极限真空。所有TSP部件均可加热至400 ˚C。TSP的工作原理是加热钛丝并将钛分子升华(从固相转化为气相)到某个表面上。升华后的钛分子可以与反应气体(例如氧气和氮气)发生化学反应，同时通过扩散的方式来吸附游离氢气。TSP可在10-5至10-12 mbar的范围内工作，氢气抽速超过12,000 L/s。