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非蒸发型吸气剂泵 (NEG)

非蒸发型吸气剂泵 (NEG)非蒸发型吸气剂泵 (NEG)

产品详细

产品介绍

NEG由被压到固态基板上或被烧结成盘状的活性金属制成。材料的用量控制着NEG泵的转速和性能,但通常氢 气的抽速介于50至400 ls-1 之间。随着NEG内气体的饱和,它们可以在不需要破空大气的环境下再活化。其主要 优势在于能够在无需电源的情况下长时间抽空。

NEG非常适用于抽空和维持真空应用,并且可用于提升离子泵的性能,或单独使用抽真空。由于其尺寸紧 凑、H2 抽速较高,因此是UHV应用的理想选择。它们通常并不适用于频繁从大气压下开始抽真空应用,因为这 会使表面饱和,并且它们仅可在有限的次数内进行再活化。

 

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