产品介绍

多级罗茨型干泵      CR S系列     CR60B    ULVAC

干泵CR系列VerB是获得(CE,cTUVus) 的空冷式罗茨型干泵。排气室内不使用真空油，因转子和汽缸是不

接触的，可长时间稳定运转。特点

由于排气室是非接触的并且不使用油，因此可以长时间稳定排气气。

●无需冷却水和氮气，有助于降低运行成本。

●安装了DC密封电机实现节能，气密和减重。

●气镇压机构可以排出蒸汽。

●符合CE,cTUVus用途

●空气、惰性气体等洁净气体的真空排气

●真空干燥等水蒸气的排出(需要使用气镇)

●溅射，蒸发等真空设备