ADH系列

用于最新工艺应用地新型高性能干式泵

新型高性能干式泵   ADH系列专门为太阳能、半导体和LED市场地苛刻工艺应用而开发，提供600至4500m3 /h地抽速。

半导体：H2 高抽速   ADH系列产品性能为您的工艺带来一下优势：

l ALD工艺处理量：小分子气体的高抽速效率可以允许更快的在工艺步骤之间排空腔室。

l 外延和EUV：高抽速和大流量公差符合最苛刻的工艺规范。

太阳能和LED：氢气准备就绪    ADH系列为太阳能（a-si和u-si PECVD）以及LED（MOCVD GaN,AIGaAs，AIGalnP...）提供最佳的氢气抽送效率。

无中间维护    所有轴承均经过了油润滑，不需要现场维护。通过改善粉末耐受性和冷凝管理，实现了较长的维护间隔以及泵寿命延长，这意味着降低了运行成本。

对工艺副产物的高耐受性  泵配备双重温度控制的水冷回路和集成的热氮吹扫，以防止粉末积聚或冷凝。强大的电机可以处理大量粉末，保证良好的重启能力。此外，精心挑选的材料可以承受腐蚀性化学清洗剂。AHD系列采用全新的监控系统进行升级，其功能有助于提高工艺可靠性。

用于低COO的高效率  在泵不用于该工艺时，智能模式可通过降低功率和氮消耗降低运行成本。得益于优化的设计，泵在同级抽送性能水平中可提供市场上最佳的功耗。优化的设计还可以降低发热量，从而降低冷却水流量。

坚固、安全    ADH系列的设计和材料能够承受极大的静态和动态内部压力应力。这确保在用于运行爆炸性气体（如氢气和硅烷）的应用时具有最高水平的安全性。

客户受益  ：

l 高达4500m3/h的抽速，在N3和H2中具有较高的性能。适用50和60Hz电源具有相同的性能

l 得益于润滑的轴承以及对工艺副产品的高耐受性，具有较长的维护间隔。

l 低功率和低耗水量现低COO

l 由于具有优异的抗静态和动态内应力，从而增强了安全性。