产品介绍

罗茨泵

PRC系列     PRC-018A       ULVAC

PRC系列是为对清洁度有特别要求的半导体、液晶制造工艺特别设计的罗茨泵。采用屏蔽电机，不会从轴封部漏油。可选择大气压驱动型。

特点

●无油

由于没有润滑油，因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽，也可以具有稳定性。

●采用密封电机

通过采用密封电机，可以不需要大气真空机械密封。可以在没有漏油的清洁环境中使用。

●表面处理，具有的性

主要部件采用阳极氧化铝处理，具有高表面硬度和的性，并可防止泵内部的划伤和腐蚀。还提供可选的表面处理。

●大气压驱动型(选件:变频器)有效减少排气时间

可以与粗抽泵同时启动，与标准型相比，可以减少排e气时间。

用途

●蒸着、溅射、离子电镀

●真空干燥、冷冻干燥、真空脱气

●分析设备、检漏设备

●气体置换、充填、真空隔断

●热处理炉、溶解炉

●其他各种真空设备