多级罗茨泵

节能干式多级罗茨工艺泵，适用于半导体和真空镀膜应用

全系列节能干式工艺泵，适用于100至3000m3/h的严苛型应用：

半导体生产中的严苛型工艺总是向npv加速器下载ios剔除新的挑战。基于成熟节能多级罗茨泵技术，A4系列提供多种干式泵解决方案，抽速范围从100到3000m3/h。

作为新兴的沉积或蚀刻应用的高容量解决方案，新型A3004泵扩大了新品范围。

新的XN型号采用普发真空的先进材料，具有完全耐腐蚀性，此外，还可以提供新的集成选项，从而提高泵的健康检测能力或延长泵的服务周期。A4系列泵的工艺寿命延长，能耗降低，是市场上运营维护成本最低的产品之一。

A 3004：同类产品中性能最强、运营成本最低的节能设备：

A 3004泵在3000m3/h泵速类别产品中树立了新的标准。其结构经优化，具有工艺流程时的最佳压缩比，实现了市场上最低的功耗。此外，A 3004具有最高的泵送能力，入口流量超过30slm，即使在最先进的CDV应用中也能提供更宽的制程窗口和余量。

工作温度范围扩大：

该系列泵配备了扩展的温度管理，覆盖高低工作温度，防止副产品形成或抽吸阶段发生爆裂。通过与高温精密轴承相关，提高了工艺可靠性。

 

客户受益：

l 得益于多级罗茨泵技术、高效电机以及电加热器的限量适用而实现高能效。

l 工作温度范围宽，防止泵的前驱体发生爆裂或可凝物沉积

l 完全耐腐蚀材料，提高了适用寿命

l 高平均无故障时间，低购置成本

l 极强的颗粒耐受性，提高工具的正常运行时间

l 监控功能扩展，能够更好控制泵的状态（水传感器、振动箱）

l 集成热N2喷射可防止排气堵塞

l 符合IP33、Semi S2和UL标准

 

A4系列

节能干式多级罗茨工艺泵，适用于半导体和真空镀膜应用。

完全耐腐蚀：A4X型于几年前推出，采用特殊的材料来保护主泵的转子免受腐蚀。这种方案早已在现场证明了其效率，并大大提高了泵的适用寿命。

智能：A4系列配备精密的监控系统，具有新的功能，可以改善故障排除实时监控泵的健康状况。在泵的使用寿命期间泵的外壳可能会存在水，而新的可选配水传感器可以对此进行检测，从而提高了辅助间操作的安全性。

新型可选的V-Box可以检测到泵的异常特性。在使用易燃气体的应用中，通过集成新型I-HN选项，即在泵的排气口安装热N2喷射，可以降低排气管的堵塞风险，并将稀释度提高到低于LEL。与安装在排气管道上的传统外置系统相比，I-HN是一种零占地解决方案，运行成本更低。

该系统还有空闲模式，可降低35%的N2净化和/或功耗，这意味着运行成本大幅降低。

低维护：通过改善颗粒耐受性、耐腐蚀性和抗凝结性，延长了泵的使用寿命。此外，XN技术大大延长了维护周期，这意味着额外降低了运行成本。不需要进行现场日常维护。