产品介绍

涡轮分子泵.      UTM-FW系列      UTM-1001 FW    ULVAC

采用五轴磁浮轴承和数字控制的复合翼型涡轮分子泵。

UTM-FH、UTM-FW采用数字控制五轴磁浮轴承，实现了、高可靠性和节能等优点。FH系列是高背压高压;

缩型，提高了氢压缩比，用于轻:中间工艺, FW系列是广域大流量型，用于高负荷工艺和中间硬工艺。

特点

●具有监控和自诊断功能以及通信功能，可与集中管理系统数字化通信。

●配备有无耦合系统。仅通过- 一个电源就可以与任何替换泵组合使用。

●配备变速系统。排气速度可以在25%至100%的范围内切换。

●具有的表面处理性，可支持选择特殊表面处理和内部升温系统，以进行进一步的硬化处理(FW系列)

●采用断裂能量吸收结构,高安全性设计，减少故障时的设备损坏。

●符合CE标志

用途

●中，重工艺用主泵(FW系列)

●轻，中工艺用主泵(FH系列)

●各种实验装置的高，真空排气用主泵