产品介绍

多级罗茨型干泵    HR/UR系列    UR   ULVAC

通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

特点

●高温区域均热化

实现将CVD、蚀刻等I艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。

UR系列可比HR系列更加高温化。

●氦气密封

通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。

●瞬停对策

采取了1000msec以内瞬停对策。

●性

主要零部件均采用表面硬度高、高性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。

●通信功能

可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。\